压电比例阀利用压电元件与半导体传感器，通过 对电气比例信号的调节，可高精度、高响应、无 噪音的对气体的压力与流量进行无级控制。 压电比例阀利用压电元件与半导体传感器，通过 对电气比例信号的调节，可高精度、高响应、无 噪音的对气体的压力与流量进行
特征
features
1、高精度气体控制
2、低温漂特性
3、反应灵敏，响应时间在0.7s以内
4、不限定气体种类(采用流量转换系数，以n2校准为基准、可对应各种气体)
5、高精度特气测控技术
6、安装方向任意(可自由安装)
原理图如下：
选型目录：
元级控制。