为1-3维直线扫描台。台体采用机构放大设计原理，内置高可靠性压电陶瓷，可以实现x、xy、xyz大370μm 的高速扫描，大通光孔径为ø35mm，多种位移行程及规格型号可供选择，适用于大行程多维扫描等应用。
特性：
•大位移370μm
•大承载3.5kg
•通孔直径：ø35mm
1~3维扫描台
p18压电扫描台包括x/xy/xyz三种结构形式，可以 满足1~3维大行程扫描或定位的应用需求。
典型应用
•闭环重复定位精度高 •响应速度快
•图像处理与稳定 •扫描显微
•干涉/计量 •表面检测
•半导体测量 •光学计量
大位移、大承载、高刚度、高频响