某半导体工厂在生产线上气体输送环节的气体管路系统采用伯东hva不锈钢真空闸阀11000，作为真空隔离密封.
hva不锈钢真空闸阀11000系列标准技术规格:
阀门材质:
-阀门主体
304不锈钢
-焊接波纹管轴封
am - 350
阀门密封方式
-高真空
氟橡胶
-超高真空
铜垫圈/氟橡胶
真空:
-压力范围
高真空1x10-9mbar,超高真空1x10-10mbar
-漏率
< 2x10-9mbar l/s
-差压关闭
1 bar (任意位置)
-开启前压力
≤ 30 mbar
烘烤温度（不含电磁阀）:
-弹性体密封阀盖
150°c
-金属密封阀盖
-开启温度：200°c
-关闭值：150°c
-驱动方式
手动60 °c,气动60 °c
机制
手动：
手摇曲柄
电磁阀供电电压
120 vac 50 /60 hz
电磁阀可选电压
24, 200, 240 vac 50/60 hz或12, 24 vdc
电磁阀位置指示器
115 vac或28 vdc, 20 ma
气动送风：
80 psig
使用寿命:100,000启闭次数(具体视实际使用情况决定)
公称通径:dn 16 - 800 mm
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