氦质谱检漏仪 mpcvd 检漏, 实现金刚石膜制备
微波等离子体化学气相沉积法 microwave plasma cvd (mpcvd) 是目前国际上被用于金刚石膜制备的方法. mpcvd 装置将微波发生器产生的微波经波导传输系统进入反应器, 并通入甲烷与氢气的混合气体, 在微波的激发下, 在反应室内产生辉光放电, 使反应气体的分子离化, 产生等离子体, 在基板台上沉积得到金刚石膜. 上海伯东某客户投资数亿元采购 mpcvd 长晶设备用于人造金刚石的生产, 预计年产量超万片.
mpcvd需要检漏: 在使用 mpcvd 设备进行金刚石合成的过程中, 如果设备有泄漏的情况, 将会使合成的金刚石中掺有杂质, 影响金刚石的品质, 一般漏率要求 1e-9 mbar l/s. 需要快速的对设备进行定量定位的泄露检测, 传统检漏方式无法满足.
上海伯东mpcvd设备检漏客户案例:为了解决这一问题, 上海伯东推荐客户采购氦质谱检漏仪 asm 340, 利用真空法对 mpcvd 进行检漏, 漏率设置 1e-9 mbar l/s.
1. 将设备通过波纹软管连接检漏仪 asm 340, 确认连接完毕
2. 启动 asm 340, 进入待机界面; 初次启动时间大约 3min, 以后启动 < 1min
3. 按下开始键, 先通过 bypass 阀门启动干式真空泵acp 28 抽真空, 到达一定压力检漏仪 asm 340 开始工作, 同时在设备怀疑有漏的地方喷氦气 (腔体, 焊缝, 连接处); 若有漏,检漏仪马上报警, 显示该喷射点有漏.
4. 检测完毕, 按下检漏仪待机键, 放气, 关闭电源, 移除连接管路.
氦质谱检漏仪 asm 340 与传统泡沫检漏和压差检漏对比, 在提供无损检漏的同时可以检测出更小的漏率 5e-13 pa m3/s, 利用氦气作为示踪气体可定位, 定量漏点.
型号
asm 340 w
对氦气的最小检测漏率
5e-13 pa m3/s
检测模式
真空模式和吸枪模式
检测气体
4he, 3he, h2
启动时间 min
3
对氦气的抽气速度 l/s
2.5
进气口压力 hpa
25
前级泵抽速 m3/h
油泵 15
重量 kg
56
结合了 pfeiffer 与 adixen 两家检漏仪的技术优势, 上海伯东德国 pfeiffer 推出全系列新型号氦质谱检漏仪, 从便携式检漏仪到工作台式检漏仪满足各种不同的应用.氦质谱检漏仪替代传统泡沫检漏和压差检漏, 利用氦气作为示踪气体可定位, 定量漏点.氦质谱检漏仪满足单机检漏, 也可集成在检漏系统或 plc.推荐氦质谱检漏仪应用 >>
鉴于客户信息保密, 若您需要进一步的了解mpcvd设备检漏, 请参考以下联络方式
上海伯东: 罗先生