rts-8四探针测试仪参数：
测量范围
电阻率：10-5～105ω.cm；
方块电阻：10-4～106ω/□；
电阻：10-5～105ω；
电导率：10-5～105s/cm；
可测晶片直径：140mmx150mm (配s-2a型测试台)；
200mmx200mm (配s-2b型测试台)；
400mmx500mm (配s-2c型测试台)；
恒流源
电流量程分为 1μa、10μa、100μa、1ma、10ma、100ma 六档，各档电流连续可调；
数字电压表
量程及表示形式：000.00～199.99mv；　
分辨力：10μv；
输入阻抗：＞1000mω；
精度：±0.1%；
显示：四位半红色发光管数字显示；极性、超量程自动显示；
四探针探头基本指标
间距：1±0.01mm；
针间绝缘电阻: ≥1000mω；
机械游移率: ≤0.3％；
探针：碳化钨或高速钢材质，探针直径ф0.5mm；
探针压力：5～16 牛顿(总力)；
四探针探头应用参数
见探头附带的合格证，合格证含三参数项：
c：探针系数； f：探针间距修正因子； s：探针平均间距；
模拟电阻测量相对误差（按 jjg508-87 进行）
0.01ω、0.1ω、1ω、10ω、100ω、1000ω、10000ω≤0.3％±１字；
整机测量大相对误差
(用硅标样片:0.01-180ω.cm 测试)≤±5％；
整机测量标准不确定度
≤5％；
外型尺寸（大约）
电气主机: 460mm×320mm×100mm；
s-2a型测试台: 190mm×140mm×260mm；
s-2b型测试台: 300mm×210mm×400mm；
s-2c型测试台: 500mm×400mm×350mm；
仪器重量（大约）
电气主机: 3.5kg；
s-2a型测试台: 2kg；
s-2b型测试台: 2.5kg；
s-2c型测试台: 4kg；
标准使用环境
温度:：23±2℃；
相对湿度：≤65％；
无高频干扰；
无强光直射；
*.注意:使用1μa量程时，允许有小于1.0na的空载电流.在相对湿度小于50%时使用。