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光学膜厚仪Filmetrics F20UVX在半导体制造的应用

filmetrics f20薄膜测厚仪
品牌介绍:
经济有效的filmetrics薄膜厚度测量系统,测量薄膜厚度仅需几秒钟。filmetrics系列膜厚测试仪拥有单点测量、显微镜斑点测量、自动测绘系统、在线监测等功能型号的膜厚测试仪产品。filmetrics 膜厚测试仪产品轻点鼠标就能测量1纳米到13毫米的单层薄膜或多层薄膜堆厚度。几乎所有的材料都可以被测量。直观的设计意味着您能在几分钟内完成个薄膜厚度测量!
产品介绍:
1 有五种不同波长选择(波长范围从紫外220nm至近红外1700nm);
2 大样品薄膜厚度的测量范围是:3nm ~ 25um;
3 精度为好于0.1nm。
产品特性:
1 、操作简单、使用方便;
2 、测量快速、准确;
3 、体积小、重量轻;
4 、价格便宜。
产品应用:
1 、半导体行业: 光阻、氧化物、氮化物;
2 、 lcd 行业: 液晶盒间隙厚度、 polyimides;
3 、光电镀膜应用: 硬化膜、抗反射膜、滤波片。
的技术
我们通过分析光如何从薄膜反射来测量薄膜厚度。通过分析肉眼看不见的光谱我们能测量几乎所有超过100原子厚度的非金属薄膜。因为不涉及任何移动设备,几秒钟之内就能测出:薄膜厚度,折射率,甚至粗燥度!
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