显微镜中的探针校准通常需要一个中心通孔（用于光线通过）。 p15系列三维压电扫描台具有66×66mm的自由中心孔，非常适合透射光等此类相关应用。运动行程为300μm/轴，具有较高的直线度，平台内部采用有限元分析（fea）优化的线切割挠曲铰链结构，使其具有更高的刚度和直线度。可选择集成的闭环反馈传感器保证纳米精度的长期高精度样品调整。
p15系列压电扫描台还可以轻松与其他机械定位系统结合使用。它们适合从光学研究到oem系统的各种应用。
特点
•xyz三维直线运动
•通孔尺寸66×66mm
•设计紧凑
•固态铰链确保高可靠性
•纳米级/亚纳米级高分辨率
•行程范围300μm/轴
•可选配闭环传感器
阶跃时间
闭环上升曲线，满行程阶跃时间60ms。
技术参数
型号：p15.xyz300
运动自由度：xyz
行程范围（0~120v）：240μm/轴
行程范围（0~150v）：300μm/轴
闭环传感器：sgs
通孔尺寸：66×66mm
闭/开环分辨率：13/6 nm
闭环线性度：0.2%f.s.
闭环重复定位精度：0.1%f.s.
俯仰/偏航/滚动：<30μrad
推/拉力：50/10n
运动方向刚度：0.1n/μm
空载谐振频率（x/y/z）：450/550/120hz
闭/开环空载阶跃时间：60/10ms
承载能力：0.5kg
静电容量：10.8μf/轴
材质：铝
重量：900g
线长：1.5m
应用案例：