mks压力计替换表
mks 622/623/626系列压力计
品牌
mks
inficon英福康
型号（系列）
622a623a626a
622b623b626b
cdg025d
cdg025d-x3
抗腐蚀
量程（torr）
0.1,o.25,1,2,10,
20,100,500,
100otorr可选
0.1,0.25,1,10
20,100,200，1000可选
0.1,0.25,1,2,5,10
20,50,100,200,
500,1000可选
精度
读值±0.25%
读值±2%
读值±2%
法兰接口
1/2管,8vcr,nw16 kf等
1/2管,8vcr，nw 16 kf,nw16 cf
1/2管,8vcr，nw 16 kf,nw16 cf
电源要求
± 15v直流
14-30自适应直流
14-30v 自适应直流
mks 627系列45℃压力计
品牌
mks
inficon英福康
型号（系列）
627b，627c，627d
cdg045d
量程（torr）
0.02,0.05,0.1,o.25,1,
2,10,20,100,500,
100otorr等可选
0.1,0.25,0.5,1,2,5,10
20,50,100,200,
500,1000可选
精度
读值±0.12%
读值±0.15%
法兰接口
1/2管,8vcr,nw16 kf等
1/2管,8vcr，nw 16 kf,nw16 cf
通讯接口
d型15脚 接线端子
d-sub15脚 插座型
电源要求
± 15v或±24vdc 直流
14-30自适应直流或± 15v
mks 628系列100℃压力计
品牌
mks
inficon英福康
型号（系列）
628b，628c，628d
cdg045d
量程（torr）
0.05,0.1,o.25,1,
2,10,20,100,500,
100otorr等可选
0.1,0.25,0.5,1,2,5,10
20,50,100,200,
500,1000可选
精度
读值±0.25%
读值±0.2%
法兰接口
1/2管,8vcr,nw16 kf等
1/2管,8vcr，nw 16 kf,nw16 cf
通讯接口
d型15脚 接线端子
d-sub15脚 插座型
电源要求
± 15v或±24vdc 直流
14-30自适应直流或± 15v
mks 631系列高温压力计
品牌
mks
inficon英福康
型号（系列）
631c/631d(150℃或200℃)
cdg160d（160℃）
cdg200d（200℃）
量程（torr）
1,2,10,100,1000可选
1,2,5,10
20,50,100,200，500,1000可选
1,2,5,10
20,50,100,200，500,1000可选
精度
读值±5%
读值±0.4%
读值±0.4%
法兰接口
1/2管,8vcr,nw16 kf等
1/2管,8vcr，nw 16 kf,nw16 cf
1/2管,8vcr，nw 16 kf,nw16 cf
电源要求
± 15v直流
21-30v自适应直流或±15vdc
21-30v 自适应直流或±15vdc
mks 722系列小尺寸压力计
品牌
mks
inficon英福康
型号（系列）
722a,722b
cdg020d
量程（torr）
1,2,10,20,100,250,500,
100otorr等可选
10,20,50,100,200,
500,1000可选
精度
读值±0.5%
读值±0.5%或1%
法兰接口
1/2管,8vcr凹接头,4vcr凹接头,4vcr凸接头,nw16 kf等
1/2管,8vcr凹接头,4vcr凹接头,4vcr凸接头,nw16 kf,nw16 cf
通讯接口
d型9脚
d-sub 9脚 插头型
电源要求
± 13v或±32vdc 直流
13-30v直流