目前国内单晶炉、多晶炉配用真空泵以滑阀真空泵2h120、滑阀真空泵2h150、滑阀真空泵2h70居多。其中清理单晶炉仍然使用水环真空泵2sk-6b型号。多晶硅炉配套真空泵可根据用户情况定制各类真空机组。
单晶炉滑阀真空泵2h70 主要性能参数：
极限真空：6x10-2
抽气速率：70l/s
配用功率：7.5kw
进气口径80mm
排气口径76mm
水环真空泵2sk-6b主要性能参数：
极限真空：3300pa
抽气速率：6m3/min
进排气口径：50mm
配用功率：11kw