spectra在线膜厚测量装置技术分析
使用小型卡尔蔡司光谱仪，根据形状和尺寸对每种应用进行样品包装。从薄膜和圆盘形状到玻璃板和圆柱状物体，如果同时使用显微光学系统，则可以将光线缩小到细点，并轻松测量样品的薄膜厚度。
可测量样本示例硅、氧化硅、氮化硅
砷化镓
二氧化钛
光刻 胶
染料膜、油膜和彩色滤膜
影片
涂料和粘合剂
紫外光固化树脂
金属氧化膜、介电膜
聚合体
空气层
光盘、中药、光盘
以1200mm薄膜厚度测量包为例，我们将介绍enplanner。该系统可以测量长薄膜的薄膜厚度线轮廓。 安装在执行器上的光谱反射测量单元的最大行程为 1200 mm，可移动并测量薄膜厚度。 图表显示在显示屏上，可以保存和打印测量数据。
产品规格测量厚度范围0.5-100um（光学厚度）实际厚度是将上述除以折射率得到的值
保障区域传感器、急停开关、联锁
测量时间15分钟，1200毫米
权力ac100v・50，60hz・5a以下
测量位置设置在 0 到 1200 mm 之间，间距为 1 mm
宽度分辨率0.1-200mm可任意设定
宽度位置精度±0.02毫米
设置波长范围400-1000纳米
设置发光部分5倍物镜
测量光斑直径φ1毫米