产品介绍：
名 称：高精密匀胶机
型 号：ez4
原产地：美国，usa
应 用：在高速旋转的基片上，滴注各类胶液，利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上，厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同，也和旋转速度及时间有关。
产品概述：
ez4高精密匀胶机被设计为涂胶处理小碎片至4英寸圆晶尺寸底物，使用工业级直流马达和单片机控制，文本显示器人机界面。
ez4高精密匀胶机被设计为结构紧凑、简单易用，可多步程控操作，尺寸小巧，易于放入手套箱内操作。ez4采用全阳极氧化铝面板外壳，pp材料内腔，经久耐用。
ez4高精密匀胶机性能参数：
l支持wafer尺寸：碎片（小于1cm）至100mm（4圆晶）
l速度可调范围：100-10000rpm
l加速度可调范围：100-10000rpm/s
l转速分辨率：1rpm
l转速精度：＜±5rpm
l可编程5组5步程序
l宽电压输入：ac100-230v
产品特点：
l75w直流无刷电机，单片机控制
l高清晰文本显示器
l可单步和多步匀胶操作
lpp耐腐蚀内腔，可更换
l铝合金阳极氧化外壳，美观大方
l耐溶剂pc透明盖
l多角度定位铰链设计
lhdpe真空吸盘
产品外型尺寸：
250mm(d)*210mm(w)*200mm(h)