日本tekhne sf6气体纯度露点仪mbw973-sf6
特征
抽查sf6气体露点管理气体变压器/气体断路器气体绝缘开关半导体和液晶面板的干法蚀刻工艺sf6气体回收与再循环主要用途
sf6纯度/变压器/气体断路器的露点测量环保测量仪
sf6（六氟化硫）气体是一种温室气体，其减排目标是由《京都议定书》设定的，据说其温室效应约为每单位体积co2的23,400倍。sf6气体在断路器/变压器和半导体工艺中用作绝缘气体，因此必须测量水分和sf6纯度以保持其绝缘性。
另一方面，到目前为止，在日本，测量时通常将其释放到大气中，或者不释放而以高成本进行收集和分解。通过使用mbw973-sf6，可以将测得的sf6气体返回到原始设备而不会释放到大气中，并且可以将向大气中的释放减少到零。
高精度测量
迄今为止，由于电容类型易于获取，因此通常被使用。另一方面，mbw973-sf6的露点和纯度测量均采用高精度镜型，因此可以分别以±0.5°c和0.5％的精度进行高精度测量，响应速度快，随时间的推移几乎没有劣化。是。通过使用该装置，可以大大减少操作者的工作时间，并且可以容易地进行可靠的测量。
so2测量选项
sf6气体通过与水反应来净化hf气体和so2气体。mbw973-sf6可以测量0至100ppm或0至500ppm范围内的so2。该传感器使用电化学电池，可以满量程±2％的精度进行测量。