就是利用多种和终端修饰等制取得到纯度很高的水的一种仪器设备。超纯水机会利用到过滤截留、过滤吸附、、、超滤吸附、紫外氧化、、微滤、终端修饰等，在源水水质浊度大情况下还要额外配置大容量的过滤截留器，若源水硬度大的情况下，还要加配软化和除盐器等。
设计是利用层层吸附、上一级是对下一级保护的原理设计的，超纯水是一种应该很广泛的溶剂，要制得纯度如此高的水，对过滤的手段以及过滤的条件要求是很苛刻的，一定要配置高精度的和高精度的在线监测仪器，而且对过程的控制也变得很重要，一定要保证配件是高品质的不会反污染水质，而且一定要现制现用，不可以保存过久。
是美国科技界为了研制超纯材料（半导体原件材料、纳米精细陶瓷材料等）应用蒸馏、去离子化、或其它适当的超临界精细技术生产出来的水，这种水中除了水分子（h20）外，几乎没有什么杂质、金属离子，更没有细菌、病毒、含氯二恶英等有机物。
经过的水只能被称为纯水或者，不是所有的纯水都适合饮用的。要看系统的配件和配置的。
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