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洁净室安全技术
洁净室安全技术
一、工业气体管道设计的安全技术,应符合下列规定:
1、氢气管道的支管和放散管上,应设置回火防止器;
2、氢气和氧气管道应设置导除静电装置;
3、各种气体管道应设明显标志。
二、洁净室内使用氢气时,宜在室内设置报警装置。
三、各种气瓶应集中设置在洁净厂房外。当日用气量不超过一瓶
时,气瓶可设置在洁净室内。
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