往复式真空泵（简称往复泵）又名活塞式真空泵，属于低真空取得设备之一。它与旋片式真空泵相比拟，它能被制成大抽速的泵；与水环式真空泵相比，效率稍高。这类泵的主要缺陷是构造复杂，体积较大，运转时振动较大等。
其在很多场所可由液环式真空泵所取代。往复泵的构造和工作原理如图所示，主要部件有气缸1及在其中做往复直线运动的活塞2,活塞的驱动是用曲柄连杆机构3（包括十字头）来完成的。除上述主要部件外还有排气阀4和吸气阀5等重要部件，以及机座、曲轴箱、动密封和静密封等辅助部件。
运转时，在电动机的驱动下，经过曲柄连杆机构的作用，使气缸内的活塞做往复运动。当活塞在气缸内从左端向右端运动时，由于气缸的左腔体积不时增大，气缸内气体的密度减小，而构成抽气过程，此时被抽容器中的气体经过吸气阀5进入泵体左腔。当活塞到达右位置时，气缸左腔内就完整充溢了气体。接着活塞从右端向左端运动，此时吸气阀5关闭。
气缸内的气体随站活塞从右向左运动而逐步被紧缩，当气缸内气体的压力到达或稍大于一个大气压时，排气阀4被翻开，将气体排到大气中，完成一个工作循环。当活塞再左向右运动时，又反复前一循环，如此重复下去，被抽容器内终到达某一稳定的均衡压力。