精确的质量流量控制改善真空镀膜强大功能
自仪的mce和平均红细胞容积（mcv）系列系列是直接更换普通工业质量流量控制器
自仪质量流量控制器在一个真空的环境，确保的涂料在涂料室，保持产品的完整性和溅射工艺。心肌声学造影（mce）和平均红细胞容积（mcv）的系列，这个系列可以用来取代传统的和discontinued万机仪器。拟合相同的制造业质量流量控制器的公共空间，这两个系列是易于融入现有的系统。在使用，他们提供快速，准确的流动性和质量控制过程。
该自仪mce和mcv精确控制气体流量低至0.6 sccm全面或0-40 slpm满刻度60到110毫秒的响应时间，高控制。快速响应时间可以大大改善真空镀膜最终产品，有助于消除目标中毒。综合气动切断阀是常闭，可切断2×20-10 atm sccm /秒氦。
mce可以代替传统型mks 1179a质量流量，而mcv代替终止式mks 2179a质量流量。自仪质量流量控制器运行在通用的24伏直流电供应，将匹配任何预先存在的针在针或20针d-sub连接器，方便更换。这个装置可以安装在任何方向，甚至颠倒了，没有调整，进一步简化装置。
预编程的89种气体校准，体积流量的mce和mcv测量质量流量，压力和温度，全温压补偿。单元可以通过仪表键盘直接编程，也可以通过rs-232远程（也可用rs-485）编程。
mce和mcv使用层流差压（dp）技术在许多自仪科学流量仪表，提供nist认证，并带有ce标志。