半导体行业用氟树脂接头介绍
介绍flowel株式会社的各种产品,包括多年来受到半导体行业和其他行业好评的“氟树脂接头”。
采用国内的喇叭形密封方式。本体和螺母形状均具有的结构,接近满足客户的要求:清洁安全、不积液、不泄漏、无需重新拧紧,性能配备。非常适合防止 cmp 浆料结块、光刻胶起泡和胶凝以及蚀刻和剥离溶液泄漏。
高性能火炬配件
本体前端及螺母内部进行锥度加工的结构
显着改善液体替代特性
准备两种类型的施工方法:冷火炬和热火炬。
最高工作温度:100℃
适用管材尺寸: φ3mm 至 φ25mm、φ1/8″ 至 φ1″
氟树脂配件
80 系列适用于先进工艺提供专用夹具・出色的颗粒排出性能・业界的 230℃ 兼容・应用:清洁设备、涂布机显影剂
70系列插入式全能焊接提供专用夹具- 具有无焊珠结构的平面焊接内表面- 自动化加热和冷却过程- 应用:清洁设备、化学品供应设备、vmb(阀组箱)
适用于60系列半导体工艺可提供专用夹具・高性能扩口型接头・优异的液体置换特性・用途:涂布机、显影机
30系列通用型长销配件,无需特殊夹具,易于安装。应用:理化仪器、分析仪器等。
系列性能对照表
80系列70系列60系列30系列
最高工作温度 230℃ 200℃ 100℃ 100℃
尺寸阵容 英制:φ1/8~1″毫米:φ3~25 英制:φ1/4~1-1/2″毫米:不适用 英制:φ1/8~1″毫米:φ3~25 英制:φ1/8~3/4毫米:φ3~19
施工夹具 基本的 基本的 基本的 -
机身材质 阀体:pfa/ptfe螺母:pfa 阀体:pfa/ptfe螺母:无 阀体:pfa/ptfe螺母:pfa 阀体:ptfe螺母:ectfe
适用管材_ 粉煤灰 粉煤灰 pfa/聚四氟乙烯 pfa/聚四氟乙烯