由于由于气动隔膜泵气动隔膜泵空间的容积是逐渐增大，气体压强降低，气动隔膜泵泵的入口处外部气体压强大于空间a内的压强，因此将气体吸入。当空间a与吸气口隔绝时，即转至空间b的位置，气体开始被压缩，容积逐渐缩小，zui后与排气口相通。空间的容积是逐渐增大，气体压强降低，气动隔膜泵泵的入口处外部气体压强大于空间a内的压强，因此将气体吸入。当空间a与吸气口隔绝时，即转至空间b的位置，气体开始被压缩，容积逐渐缩小，zui后与排气口相通。旋片气动隔膜泵泵是真空技术中zui基本的真空获得设备之一。旋片泵多为中小型泵。旋片泵有单级和双级两种。所谓双级，就是在结构上将两个单级泵串联起来。一般多做成双级的，以获得较高的真空度。旋片泵的抽速与入口压强的关系规定如下：在入口压强为1333pa、1.33pa和1.33×10-1（pa）下，其抽速值分别不得低于泵的名义抽速的95%、50%和20%。
旋片泵主要由泵体、转子、旋片、端盖、弹簧等组成。在旋片泵的腔内偏心地安装一个转子，转子外圆与泵腔内表面相切（二者有很小的间隙），转子槽内装有带弹簧的二个旋片。旋转时，靠离心力和弹簧的张力使旋片顶端与泵腔的内壁保持接触，转子旋转带动旋片沿泵腔内壁滑动。两个旋片把转子、泵腔和两个端盖所围成的月牙形空间分隔成a、b、c三部分，当转子按箭头方向旋转时，与吸气口相通的空间a的容积是逐渐增大的，正处于吸气过程。
而与排气口相通的空间c的容积是逐渐缩小的，正处于排气过程。居中的空间b的容积也是逐渐减小的，气动隔膜泵正处于压缩过程。