激光气体分析仪是使用单线分子吸收光谱的气体分析仪。激光二极管发射近红外激光束，该激光束穿过工艺气体并被接收器单元检测到。二极管发射的激光波长被调制成特定气体的吸收线。激光以非常高的光谱分辨率连续扫描这条单吸收线。结果是一条独立的单线分子谱线，然后分析其吸收强度和线型。由于相似的单色激光在扫描光谱范围内只被一条特定的分子线选择性吸收，因此在测量过程中不存在交叉干扰。概述通过光纤连接到测量点。激光通过单模光纤从单元被引导至场传感器的发射单元。传感器包括接收器和发射器，它们之间的距离定义了测量光路。在接收器盒中，激光聚焦在合适的检测器上，然后检测器信号被转换成光信号并通过第二光纤传输到单元。在单元中，气体成分的浓度由检测到的吸收信号确定。通常只测量一种单一的气体成分。在某些特定情况下，这两种成分也可以同时测量。如果它们的吸收线彼此非常接近，它们可以在一次激光扫描中被检测到(例如，h2o和nh3)。此外，在一些应用中，可以将气体的温度确定为测量值。在这种情况下，对于在相同体积中同时测量的相同分子，它们的两条特征谱线的比率给出了工艺气体中气体的实际温度。可以测量的一些典型气体是:氧气/o2氟化氢/hf/hcl氨/nh3水蒸汽/h2o一氧化碳/co二氧化碳/co2。通常，充满待测气体的内部参比室被用作参比通道，以便总是可以检查光谱仪的稳定性。通过这样做，可以确保仪器的连续校准，而无需使用瓶装测试气体或参考试管来执行外部重新校准。