电子探针是一种利用电子束作用样品后产生的特征x射线进行微区成分分析的仪器，可以用来分析薄片中的矿物微区的化学组成。电子探针是利用经过加速和聚焦的极窄的电子束为探针，激发试样中的某一微小区域。
电子探针的原理
用细聚焦电子束射入样品表面，激发出样品元素的特征x射线。分析特征x射线的波长(或特征能量)即可知道样品中所含元素的种类(定性分析)。分析x射线的强度，则可知道样品中对应元素含量的多少(定量分析)。
电子探针仪镜筒部分的构造大体上和扫描电子显微镜相同，只是在检测器部分使用的是x射线谱仪，专门用来检测x射线的特征波长或特征能量，以此来对微区的化学成分进行分析。因此，除专门的电子探针仪外，有相当一部分电子探针仪是作为附件安装在扫描电镜或透射电镜镜简上，以满足微区组织形貌、晶体结构及化学成分三位一体同位分析的需要。
电子探针的分析方法
电子探针的分析方法可以探知材料样品的化学组成成分以及各元素的重量百分数。分析前会根据试验目的制备样品。永波谱仪分析样品时要求样品完整，否则会降低测得x射线强度。
1、定性分析
定性分析包含点分析、线分析、和面分析。分别可以用于测定样品上某个定点的化学成分；某种给定直线的分布情况；某种元素的面分布情况。
2、定量分析
定量分析时，先测得试样中y元素的特征x射线强度iy，再在同一条件下测出已知纯元素y的标准试样特征x射线强度io。然后两者分别扣除背底和计数器死时间对所测值的影响，得到相应的强度值iy和io，两者相除得到x射线强度之比ky= iy / io。 直接将测得的强度比ky当作试样中元素y的重量浓度，其结果还有很大误差，通常还需进行三种效应的修正。即原子序数效应的修正，吸收效应修正，荧光效应修正。经过修正，误差可控制在±2%以内。