地埋式污水处理设备采用的主体工艺以a/o(厌氧-氧活性污泥法)工艺为主。随着污水处理要求的不断提与多元化需求，mbr(膜生物反应器)工艺、sbr(序批式活性污泥法)工艺也作为主体工艺运用到一体化污水处理设备中。由于采用其他工艺作为主体工艺的一体化污水处理设备效率较或不广等原因，故笔者不予以比较。
地埋式污水处理设备几种工艺的特点对比：
1、用a/o工艺作为主体工艺的一体化污水处理设备具备降机物和除磷脱氮的功能，也不存在污泥膨胀问题，运行管理较。由于填料的比表积大，池内的充氧条件，生物接触氧化池内单位容积的生物固体量，再加上污泥回流，反应池内活性污泥浓度较，因此兼活性污泥法的特点，具较的容积负荷。由于生物固体量多，当机容积负荷较时，其f/m比可以保持在一定水平，因此，污泥产量可相当于或于活性污泥法。该工艺，运转，，，是目前较为成熟的生活污水处理工艺，能效地确保污水。
2、mbr处理工艺对水质的适应性，耐冲击负荷性能，、稳定，不会产生污泥膨胀;池中采用弹性立体填料，比表积大，微生物易挂膜，脱膜，在同样机物负荷条件下，对机物率，能提空气中的氧在水中溶解度;工艺，不必单独设立沉淀、过滤等池，，水力停留时间大大缩短;污泥排放量少，只传统工艺的30%，污泥处理，但一次性投资较。
3、用sbr法作为主体工艺具工艺流程，构筑物少的特点。该工艺不需设置污泥回流设施，不设二沉池，曝气池容积也小于传统连续式活性污泥法，易产生污泥膨胀的现象。通过调节运行，不仅cod，而且可以效地脱氮除磷。该工艺对水质水量变化适应，水质较稳定，适合间歇排放的污水，可由plc自动控制系统灵活控制运行工序。但sbr法属于间歇式活性污泥法，排水时间短，且排水时要求不搅动沉淀污泥层，因而需要专门的排水设备(滗水器)，且对滗水器的要求较。上述原因导致采用该工艺作为主体工艺的一体化设备处理效率不。运行。