变极距(δ)型: (a)、(e)
变面积型(a)型: (b)、(c)、(d)、(f)、(g) (h)
变介电常数(ε )型: (i)~(l)
(1) 变极距型电容传感器
(2) 变面积型电容传感器
角位移:极板2的轴由被测物体带动而旋转一个角位移θ度时,两极板的遮盖面积a↓→电容量↓。
板状线位移:极板2可以左右移动。极板1固定不动。
筒形:外圆筒不动,内圆筒在外圆筒内作上、下直线运动。
(3) 变介电常数型电容传感器
因为各种介质的相对介电常数不同,所以在电容器两极板间插入不同介质时,电容器的电容量也就不同。这种传感器可用来测量物位或液位,也可测量位移。
表1 几种介质的相对介电常数
介质名称
相对介电常数εr
介质名称
相对介电常数εr
真空
1
玻璃釉
3~5
空气
略微>1
二氧化硅
38
其他气体
1~1.2
云母
5~8
变压器油
2~4
干的纸
2~4
硅油
2~3.5
干的谷物
3~5
聚丙烯
2~2.2
环氧树脂
3~10
聚苯乙烯
2.4~2.6
高频陶瓷
10~160
聚四氟乙烯
2.0
低频陶瓷、压电陶瓷
1000~10000
聚偏二氟乙烯
3~5
纯净的水
80