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电容式传感器的概要介绍

电容式传感器概述
电容式传感器的应用技术近几十年来有了较大的进展,由于电容测微技术的不断完善,作为高精度非接触式测量手段,广泛应用于科研和生产加工过程。一般产品有测微仪器。过去,电容式传感器主要用于位移、振动、角度、加速度等机械量精密测量。现在还逐渐扩大应用于压力、压差、液面、成份含量等方面的测量。
电容式传感器的特点
小功率、高阻抗。电容器密度很小,一般在几十~几百微法,具有高输出阻抗。
静电引力小(极板间),工作所需作用力很小。
可动质量小,具有较高的固有频率,所以动态响应特性好。
本身发热影响小。
可进行非接触测量。
电容式传感器的定义
电容式传感器是将被测量(如尺寸、压力等)的变化转换成电容量变化的一种传感器。把被测的机械量,如位移、压力等转换为电容量变化的传感器。它的敏感部分就是具有可变参数的电容器。其zui常用的形式是由两个平行电极组成、极间以空气为介质的电容器(见图)。若忽略边缘效应,平板电容器的电容为εa/δ,式中ε为极间介质的介电常数,a为两电极互相覆盖的有效面积,δ为两电极之间的距离。
1151压力变送器,电容式传感器
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