等离子清洗是等离子表面改性的其中较为常见的一种方式，能有效得提高材料表面的达因值，干法清洗，避免使用有害溶剂，绿色环保。
等离子清洗机（plasma cleaner）又被称为等离子蚀刻机、等离子去胶机、等离子活化机、plasma清洗机、等离子表面处理机、等离子清洗系统等。等离子处理机广泛应用于等离子清洗、等离子刻蚀、等离子晶圆去胶、等离子涂覆、等离子灰化、等离子活化和等离子表面处理等场合，通过等离子清洗机的表面处理，能够改善材料表面的润湿能力，使多种材料能够进行涂覆、涂镀等操作，增强粘合力、键合力，同时去除有机污染物、油污或油脂.
等离子表面活化清洗机，提高材料表面达因值，亲水性改善，等离子清洗机对材料表面的刻蚀作用--物理作用等离子体中的大量离子、激发态分子、自由基等多种活性粒子，作用到固体样品表面，不但清除了表面原有的污染物和杂质，而且会产生刻蚀作用，将材料表面变粗糙，形成许多微细坑洼，增大了材料的比表面。提高固体表面的润湿性能。
关键词：等离子清洗机