低温捕集泵按照真空度来分就分为粗真空度，高真空度以及超高真空度；按照工作原理来分就分为气体输送泵以及气体捕集泵，气体输送泵又分为变容真空泵、动量输送泵，气体捕集泵分为吸附泵，吸气剂泵以及低温泵。真空泵由于其工作性质，需要用到真空泵过滤器，不同类型的泵需求也有所不同，对于油封式真空泵，安装真空泵过滤器大多为解决其喷油冒烟和环保问题。
在低温泵内设有由液氦或制冷机冷却到极低温度的冷板。它使气体凝结，并保持凝结物的蒸汽压力低于泵的极限压力，从而达到抽气作用。低温抽气的主要作用是低温冷凝、低温吸附和低温捕集。
①低温冷凝：气体分子冷凝在冷板表面上或冷凝在已冷凝的气体层上，其平衡压力基本上等于冷凝物的蒸气压。抽空气时，冷板温度必须低于 25k；抽氢时，冷板温度更低。低温冷凝抽气冷凝层厚度可达10毫米左右。
②低温吸附：气体分子以一个单分子层厚 (厘米数量级)被吸附到涂在冷板上的吸附剂表面上。吸附的平衡压力比相同温度下的蒸气压力低得多。如在 20k时氢的蒸气压力等于大气压力，用 20k的活性炭吸氢时吸附平衡压力则低于帕。这样就可能在较高温度下通过低温吸附来进行抽气。
③低温捕集：在抽气温度下不能冷凝的气体分子，被不断增长的可冷凝气体层埋葬和吸附。
一般说来，低温捕集泵的极限压力就是冷板温度下的被冷凝气体的蒸气压力。温度为120k时，水的蒸气压已低于帕。温度为20k时，除氦、氖和氢外，其他气体的蒸气压也低于帕。但由于被抽容器和低温冷板的温度不同，泵的极限压力高于冷凝物的蒸气压。对于室温下的容器，低温板为20k时，泵的极限压力约为冷凝物蒸气压力的4倍。
关键词：气体输送泵 输送泵 真空泵 低温泵 制冷机