氧化锆氧量分析仪在使用过程中存在许多干扰因素，如锆管的老化、积灰、so2和so3对电极的腐蚀等。运行一段时间后，仪器的性能会逐渐变化，给测量带来误差，因此必须定期进行氧化锆氧量分析仪标定！校准周期通常为1-3个月，这要看氧化锆氧量分析仪的使用环境和使用情况而定。
校准时，不能使用纯n2作为零点气，通常零点气应为满量程的10%；量程气是满量程的90%；氧化锆氧量分析仪现场采用的是干燥空气作为量程气；零点气则采用100ppm o2，这是考虑到，零点100ppm以下，标气误差对氧化锆氧量分析仪的影响太大且校验吹扫时间太长，又不易吹到位；测量值采用测量线性的下延线。