vic-d245气体质量流量控制器mkp
vic-d245气体质量流量控制器mkp
数字式质量流量控制器-橡胶密封
vic-d200系列数字式mfc，产品同时支持传统模拟量和rs485数字信号，满足大部分气体控制的通用需求，气体通路为不锈钢材质，适用于所有气体或高压环境。
特点
全测量区间内响应速度≤1秒
teflon密封，对有毒及腐蚀性气体耐久性强
没有disk变形，半yong久使用保障
适用浪涌和过电压的内部电路设计
技术规格
型号 vic-d210 vic-d220 vic-d230 vic-d240 vic-d245
流量范围（n2基准） 5sccm ~ 1.5slm 1.5slm~50slm 50slm~100slm 100slm~200slm 200slm~400slm
流量控制范围 2 ~ 100满量程
精度 ≤1%满量程
响应速度 ≤1秒（10~100满量程） ≤1.2秒
重复性 ≤0.2%满量程
阀门类型 常闭阀
密封种类 vtion，vtion-etp，kalrez等等
电气连接及信号 9针d-sub公头模拟：0-5vdc或4-20ma数字：rs485
电源 +15vdc~+24vdc
操作温度 操作温度：5-50℃（推荐15~35℃）
预热时间 15分钟（准确度保证：30分钟）
法兰连接 1/8~1/2lok或vcr（根据型号）
重量 0.95kg 0.97kg 1.33kg 1.87kg
维持准确度，温度变化不敏感
vic-d245气体质量流量控制器mkp