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horiba反应器维修

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horiba提供多种自动注入装置,**、可靠的传输液体到任何端点。针对半导体工艺挑剔的要求,horib提供的产品中需要接触液体的零部件全部采用不锈钢材料,以达到高性能的表现效果。horiba的直接注入式汽化器可传输teos、teb、tepo。针对光刻、扩散工艺中用到的强腐蚀性材料,fdm系统选用抗腐蚀非金属材料,保证工艺系统的寿命及**。fdm可传输液体pcl3或bbr3至horiba先进的温度补偿鼓泡装置装置vm系列。
horiba荣获液体传输系列大奖(fdm系列),此奖项表彰于horiba在扩散工艺中成功开发了pocl3自动传输系统,实现pocl3传输特制塑料鼓泡装置内。
fdm和vm系统适用于硅基电池片的扩散制程,同样可以用于bbr3的扩散制程,减少运输和人力成本,提高**性。
規格
1.提高产能
vm系列(汽化传输系统)无需使用传统的石英鼓泡器更换,实现*小化停机时间,有效提供产能。
2.减少运营成本
fdm系列可减少pocl3消耗:每公斤可降低30*的价格
依赖于持续工作,实现超过99.8*的正常运营时间
减少pocl3浪费
更长的寿命,更低的维护成本,系统内部工艺流程无需暴露于周围环境
3.提高工艺稳定
vm系列一直将液位保持 high 状态,使整个工艺流程相比较石英鼓泡系统更为稳定
由于鼓泡装置的持续注入,液位将不会受到影响
无鼓泡装置需更换,避免操作失误
无环境温度的影响
薄层电阻相较于传统鼓泡装置更为稳定,再现性更出色
4.提升**性
无石英材料。vm系列将由pfd材质构建。相较于石英材料,pfd更为坚固,无需替换
无需定期更换parts,减少人工操作失误
pocl3将从20l的不锈钢瓶传输控制至pfa管路
坚固、无泄漏的鼓泡外壳与厂务端链接排气
集成液体泄漏,气体泄漏监测装置
湿线清理与泄漏自动监测
5.提高可靠性
pocl3是一款亲水性强可产生磷酸导致腐蚀或结晶的液体。常规的鼓泡系统需要定期更换会导致提升与空气接触的可能性。horiba pocl3的自动注入系统不需要定期更换鼓泡系统,有效降低了pocl3管道与空气接触的可能性。
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