电浆清洗机处置机理:plasma又被叫做物质第4个形态，不同于固体、液体和混合气体的常见存在形式。它是1种有着相应色泽的准中性化电子流，是正离子和电子密度大致相等的电离混合气体。电子和原子在电浆清洗机等离子状态下脱离原子约束，中性原子、分子结构和离子无序运动，能量高，但整体中性化。 高真空泵屋内的混合气体分子结构被电磁能加剧，加速的电子相互碰撞，使原子和分子结构的外层电子被加剧脱离轨道，产生离子或高反应性氧自由基。这样产生的离子和氧自由基继续相互碰撞，被电场加速，与材料表面层相互碰撞，破坏了几微米深度分子结构之间原有的融合方式，去除了孔内相应深度的表面层物质，产生微小的凹凸，同时产生的混合气体成分成为反应性官能基(或官能团)，诱导物质表面层发生物理化学变化，从而去除钻孔污染，提高镀铜的结合力。
在电浆清洗机中等离子体的化学反应中，起化学作用的粒子主要是正离子和氧自由基粒子。氧自由基在化学反应过程中能量传递的活(化)作用，处于刺激状态的氧自由基能量高，易于与物件表面层分子结构融合产生新的氧自由基。电浆清洗机新产生的氧自由基也处于不稳定的高能状态，可能会发生分解反应，在变成较小分子的同时生成新的氧自由基。这个反应过程可能会继续进行，然后分解成h2o、co2等简单分子结构。在其他情况下，电浆清洗机的氧自由基与物件表面层面的分子结构融合时，会释放出大量的结合能，成为新的表面反应驱动力，从而导致物件表面层的物质发生化学反应并被去除。