扫描电镜sem测试中喷金仪的作用分析
扫描电镜几乎可以对所有类型的样品进行图像处理,陶瓷、金属、合金、半导体、聚合物、生物样品等。然而,某些特定类型的样品更具有挑战性,并且需要同学们进行额外的样品制备,以便借助扫描电镜收集高质量图片。这些额外的步骤包括在样品中表面溅射一个额外的导电薄层材料,如金、银、铂或铬等。
市面上任何一款电镜都无法喷金。对样品喷金需要一种专门的设备——离子溅射仪。
msp-1s该设备专用于贵金属薄膜镀膜,用于sem观察。这是一种用贵金属涂覆 sem 样品以防止充电并提高二次电子产生效率的装置。除了使用磁控管靶电极进行低压放电外,还将样品台制成浮动式,以减少电子束流入对样品造成的损坏。操作简单,按一下按钮即可,没有任何技巧。它很小,不占用太多空间。它放在办公桌的一角会很有用。用途这是用于sem样品的金属镀膜装置。
主要产品规格
物品 规格
电源 ac100v(单相100v 10a)3p带地插头1口
旋转泵 10l/min(装置内置)
设备尺寸 宽200mm x 深350mm x 高345mm
(设备重量:14.6kg)
样品室尺寸 内径120mm x 高65mm(硬玻璃)
样品台尺寸 直径50mm(浮动法)
电极-样品台距离 35mm(使用辅助样品台时为25mm)
靶电极 内置永磁体的磁控管型靶电极
目标金属规格 φ51mm,厚度0.1mm
pt、pt-pd、au、au-pd、ag
关键词:贵金属 离子溅射仪