气体种类
项目
指标
优等品
一等品
合格品
高纯氮
氮气纯度, 10-2（v/v）
99.9996
99.9993
99.999
氧含量,10-6（v/v）
1.0
2.0
3.0
氢含量,10-6（v/v）
0.5
1.0
1.0
co、co2、ch4总含量,10-6（v/v）
1.0
2.0
3.0
高纯氩
氩纯度, 10-2（v/v）
99.9996
99.9993
99.999
氮含量,10-6（v/v）
2
4
5
氢含量,10-6（v/v）
0.5
1
1
总碳含量（以甲烷计）10-6（v/v）
0.5
1
2
高纯氦
氦气纯度, 10-2（v/v）
99.9996
99.9993
99.999
氢含量,10-6（v/v）
0.1
0.5
1
氧（氩）含量10-6（v/v）
0.5
1
1
氮含量,10-6（v/v）
1
1
2
一氧化碳含量,10-6（v/v）
0.1
0.2
0.5
二氧化碳含量,10-6（v/v）
0.2
0.2
0.5
甲烷含量,10-6（v/v）
0.1
0.2
0.5
高纯氢
氢纯度, 10-2（v/v）
99.999
氧（氩）含量10-6（v/v）
1
氮含量,10-6（v/v）
5
一氧化碳含量,10-6（v/v）
1
二氧化碳含量,10-6（v/v）
1
甲烷含量,10-6（v/v）
1
超纯氢
氢纯度, 10-2（v/v）
99.9999
氧（氩）含量10-6（v/v）
0.2
氮含量,10-6（v/v）
0.4
一氧化碳含量,10-6（v/v）
0.1
二氧化碳含量,10-6（v/v）
0.1
甲烷含量,10-6（v/v）
0.2
高纯氧
氧纯度, 10-2（v/v）
99.999
99.998
99.995
氩含量,10-6（v/v）
2
5
10
氮含量,10-6（v/v）
5
10
20
二氧化碳含量,10-6（v/v）
0.5
1
1
总碳含量（以甲烷计）10-6（v/v）
0.5
1
2