bruker布鲁克 jv-qcvelox产 品 概 述
bruker’的jv-qcvelox是长期运行的 jv-qc 仪器中hrxrd。它是化合物半导体行业高分辨率 x 射线衍射的专用质量控制工具。 它适用于表征所有常见的半导体衬底,包括si、gaas、inp、gan 等。测量可以部分或自动化运行,用户可自定义的脚本处理日常工作。
velomax™ 光学器件:通过 10 倍以上的强度改进实现高生产率
jv-qc-velox 系统的入射光束包括许多标准功能以获得高强度。 晶体选择根据材料进行了优化:
·在不损失分辨率的情况下,提高了通量并提高了可重复性。·在不降低分辨率的情况下,可以实现比以前更快的测量和更高的精度。 这是在 mqw 分析中保持准确的成分值的关键。·多层反射镜作为所有 jv-qc-velox 系统的标准配置·对于高镶嵌样品,使用 25 英寸的调节晶体发散角来增强系统(标配)·对于传统的 iii-v 系统,可以提供更高分辨率的调节晶体 (<10”) 来代替 25” 晶体(需要在采购订单上注明)·系统的校准可以轻松安全地进行,机柜中没有开梁。
·检测器级包括许多标准功能,可以增强系统的能力·edrc(增强动态范围)检测器的动态范围 > 2x107·自动衰减器,通过控制软件进行控制。这将系统动态范围增加到超过3x108
·三轴晶体是获得所需晶体的关键gan测量的分辨率。·电动探测器狭缝允许对系统进行控制分辨率,无需手动更换模块·所有探测器级组件都是自动对齐的通过电脑