日本东丽toray氧气分析仪ms-500、lc-450a、lc-450d、lc-860
氧气表ms-500多可以同时测量8个点浓度范围从ppm到100％均可显示。非常适合安装在半导体制造设备，真空设备等上。传感器是直接插入型（用于真空16/25/40的nw法兰）特殊涂层应用于高度耐用的传感器，以进一步提高耐用性。ms-500设备规格测量原理
氧化锆轻型电池
形状
分体式（转换器：壁挂式，传感器：直接插入式）
显示方式
4位数字显示（密度显示）
测量范围
0-1 / 10/100 / 1000ppm / 1/10 / 100体积％氧气2　10-20〜10-0大气压
自动范围
重复性
在±0.5％fs 0-1％范围内或以上
±1％fs以下或≤±
0.1ppm大于0-1ppm的0-1％内，atm范围超出保证的浓度范围
测量点数
1-8
样气条件
压力
10-3至200 kpa（压力）
流量
0.5-5,000 ml / min或0 ml / min（自然扩散状态的测量）
湿度
露点低于环境温度
温度
0-100℃
其他
不包含腐蚀性气体（基于氟的气体，基于氯的气体，基于硫化物的气体等），包含有机硅的气体，可燃成分（包括气体），油和水。
比较气
大气层
记录仪输出
仅变速箱输出
变速箱输出
rs-232c
报警输出
没有
热身时间
6分钟以内
尺寸
ms-500（控制器）
92（w）x 44（h）x 120（d）（不包括突起）
ms-510（转换器）
100（w）x 40（h）x 88（d）（不包括突起）
传感器单元
sd16nw
总长100 mm（感应部分φ11×39，主体部分φ40×51）
sd25nw
总长100mm（感应部分φ11×42，主体部分φ40×48）
sd40nw
总长100 mm（感应部分φ11×41，主体部分φ40×49）
大众
ms-500（控制器）
约0.6kg
ms-510（转换器）
约0.5kg
传感器单元
sd16nw
约0.2kg
sd25nw
约0.2kg
sd40nw
约0.35kg
外部连接
真空法兰之一（nw16、25、40）
使用电源
24vdc±10％
氧气计lc-450a，lc-450d
可以显示很宽的浓度范围，从测量到的浓度范围内的ppm水平到100％。改进的传感器耐用性
氧气传感器经过特殊处理，以提高其耐用性。交流宽电源ac100-240vac（lc-450a）
* lc-450d由24v dc驱动紧凑且易于安装
深度比我们的传统型号还要短，并且不会占用太多空间。符合rohs的产品ce标志自我声明产品
en61010-1：2002，en61326：+ a3：2003氧气计lc-860
低浓度测量
可以测量ppb到100％操作简便
按功能可轻松操作吹扫功能
比较气体更稳定，测量更精que（仅适用于具有吹扫功能的规格）高可靠性传感器传感器
内部还可以进行防劣化处理（可选）