sic多晶的导热性分布评估分析
我们测量了sic多晶（陶瓷）的热渗透率分布，并可视化了烧结体微米量级的热渗透率分布。 此外，gan和金刚石可以在宽带隙材料中测量。
各种材料的热物理特性（导热性和热渗透性）的分布测量现在可以以微米量级的分辨率进行。 通过评估材料中热物理性能（导热性和导热性）的分布，有望显着改善高导热材料的性能。
国家先进工业科学技术研究院先进制造工艺研究室先进烧结技术研究组。
碳化硅材料导热系数 [wm-1k-1]热穿透 [js-0.5m-2k-1]
4h-c 碳化硅440 30,400
6h-c 碳化硅单晶366 28,100
碳化硅单晶274 24,200
用热显微镜tm3评估材料的热穿透均匀性aln的透热性分布评估（aist先进制造工艺研究部）可以确认aln压痕部分的热渗透率较低。
金属玻璃热渗透率的评价（东京工业大学）金属玻璃的均匀性可以通过测量透热性的分布来确认。
关键词：显微镜