低温等离子发生器可除去有机物、环氧树脂、光刻胶、氧化物、微粒污染物等：
crf低温等离子发生器处理后很有可能应是材料本身的特性、处理后遭到二次污染、又发生化学反应等原因，处理后表面能保留的时间不好确定。经过crf低温等离子发生器处理达到较高表面后，马上进行下一道工艺，防止表面能衰减带来的影响。
crf低温等离子发生器表面改性是控制表面的有效方式，基材的能量和化学性质不影响散装材料。等离子体是电离气体的状态称为“第四物质状态”，由反应性颗粒组成例如电子，离子和自由基。等离子体和固体相互作用可以大致分为三个子类别：等离子体蚀刻或清洁，其中材料从表面去除；等离子体活化，其中表面物理或化学改性通过等离子体中存在的物质和；等离子体涂覆，其中材料在表面上以薄膜的形式沉积。根据在等离子体产生的条件下，等离子体可以分为真空或大气等离子体。低温等离子发生器处理广泛用于例如微电子学应用程序，但在线过程需要大气方法。
去除的污染物可能是有机物、环氧树脂、光刻胶、氧化物、颗粒污染物等。实际上，低温等离子发生器通过对样品进行表面改性，同时去除表面有机物，使各种材料可以进行粘接、涂布等工艺操作。广泛应用于光学、光电子、电子、材料科学、生命科学、高分子科学、生物医学、微流体等领域。