臭氧和紫外光组合氧化:臭氧属于强氧化剂，具有较高的电位，可以氧化氨基酸以及芳香族物质，但是单纯的臭氧氧化时，处理效率相对较低，无法满足废水的处理需求，因而在处理过程中，其仅应用于给水处理等环节。研究结果表明，在处理含油废水的过程中，采用臭氧和紫外光组合氧化法具有较高的应用价值，在反应初期，效果并不明显，而在经过一段时间的反应后，则可以明显提升反应速率，反应机理在于通过组合反应，可以形成羟基自由基，从而实现对有机物的氧化分解。
臭氧、紫外光和过氧化氢组合法:在处理废水的过程中，将臭氧、紫外光以及过氧化氢等方法联合使用，能够较好的提高废水中有害分子的处理效率。这种氧化工艺与紫外光和臭氧组合法基本相同，在紫外光的辅助反应下，可以将废水中的有害分子分解成为自由基，降低废水中的色度并清除有害物质，具有较高的应用价值。
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