多轴运动平台按xyzab结构组合形式,其中分类为:
1. xy轴:十字叠层结构;龙门双驱结构;桥梁上x轴,基座上y轴
2. xyz轴:xy十字叠层+侧挂z轴;xy十字叠层+平升z轴;xz十字叠层+y轴;xy龙门双驱+侧挂z轴、xy龙门双驱+平升z轴
3.ab转台:l型ab轴、摇篮式ab轴
4.五轴:xyz轴形式与ab转台结合结构
多轴运动平台组合使用关键点:单轴6自由度指标分解,多轴组合后负载在空间中6自由度指标。其中对于pitch/roll/yaw角度重复性控制和多轴正交性(ab轴正交性)控制为国内急缺少的技术经验。
北京瑞邦精控可为客户定制多轴运动平台,结合用户应用分析,分解各项指标(x、y、z、绕x、绕y、绕z)到单个轴,最后确定单轴运动指标。我公司可提供高精度气浮运动台和线轨运动台、直线运动台、旋转台等,对于多轴运动台可定制全套开发。
北京瑞邦精控可提供全套气浮直线旋转平台和机械直线和选旋转平台。其中多轴气浮运动台包含供气气源系统、机械部分(直线旋转气浮运动台)、电控部分(控制驱动电控箱)、气浮隔振系统和基座部分(大理石基座和钢架)等一整套解决方案。依据客户现场实际需求,积极配合客户对机械结构进行设计并优化处理;依据技术协议现场进行技术指标验收;现场进行设备培训及设备维护讲解。
应用领域:精密检测设备、半导体芯片封装、晶圆检测、飞秒超快激光加工等。