探针台操作说明目录
1、探针台的功能 4
2、探针台硬件结构 5
3、各部件的具体使用方法 6
4、常见故障维护与支持16
1、探针台的功能
（1）集成电路失效分析
（2）晶圆可靠性认证
（3）元器件特性量测
（4）塑性过程测试(材料特性分析)
（5）制程监控
（6）ic封装阶段打线品质测试
（7）液晶面板的特性测试
（8）印刷线路板的电性测试
（9）低噪音/低电流测试
（10）微波量测(高频)
（11）太阳能电池领域检测分析
（12）发光二极管领域检测分析
(13) 纳米器件结构测试
2、探针台硬件结构
（1）完整探针台系统
3.各部件使用方法
●探针台主要操作说明
3.1， 移动显微镜前后方向 : 松开门型横梁左下侧松紧固旋钮，拉动旋钮前后移动
3.2微镜左右方向 : 松开门型横梁显微镜移动紧固旋钮，拉动显微镜移动杆左右移动
3.3
显微镜焦距调整旋钮(粗调/细调)
3.4 显微镜光源亮度调整(微调)
3.4，调整针座载台位置。松开针座载台紧固螺丝，把载台左右移动到合适位置后固定
3.5 针座(磁性反转底座)结构说明
● 防震系统
调整防震桌四个脚座高度,使用水平仪测量是否在水平位置
3调整防震气囊压力为40~60psi
防震气囊压力表40~60psi
3.调整防震气囊水平调整螺栓往上调整,使防震桌防震气囊高度大于支撐stage软垫2mm,使用水平仪测量是否在水平位置
pic23/图23
3. 将显微镜倍率切換到大,观察影像是否会震动(以脚踏地板产生震动测试防震性能是否良好)
3.若持续有震动情形,请检查周围是否有震源产生或者相关机构有干扰及防震气囊压力过大
3. 所有设备务必接地良好,避免漏电及静电干扰测试结果.
● 探针台操作步骤：
1.将测试产品放入探针台的台盘上；
2. 打开显微镜光源灯（led或光源机）；
3.打开背光面板光源开关；
4.调整z axis高度对焦，使能清楚看到样品图象为ok；
5.调整目镜和zoom倍率，使影像清晰；
●点针操作步骤：
1.
通过移动镜头组部分找到sample 要下针的地方；
2. 调整针座位置，将三轴归零；
3. 调整针座仰角机构，使针尖位于显微镜射出光斑*上方1-2mm处；
4. 利用低倍镜头找到针尖,将针尖移至视野*位置并通过调整焦距使针尖达到清晰；
6.切换至高倍镜头，找到针尖；
7.利用针座的x-y-z 轴微调下针；
8.量测完毕后，逆时针旋转针座的仰角机构的旋钮快速将针往上抬起，针尖即可移开sample；移动针座平台或者显微镜相关移动机构时,请注意小心避免与镜头或被测品碰撞
9. 移开针座，取出sample.
10.关闭背光面板光源和光源灯等电源.
ps：●两种常见显微镜结构介绍：
a.体视显微镜配置：
eye piece目镜:高眼点超广角目镜一对.
高清晰度、高景深的立体图像，变倍手轮双侧水平设置，变倍灵活舒适。
升降机构： 燕尾导轨与齿轮齿条组合构成调焦机构.
上光源： 3瓦led灯，亮度可调，角度可调.
眼罩：方便观察的护眼罩一对。
ccd mount摄像组件:
0.65x ccd mount 摄像连接筒组 c&cs接口
0.35x ccd mount 摄像连接筒组 c&cs接口
b. 金相显微镜：
采用全新的一体化设计，操作简单、方便，性能优异、可靠，
功能齐全，可广泛应用于冶金、半导体、电子等行业的制造和研究领域。
符合人体工程学设计的显微镜头部：
psm-1000e双目观察头可以在3 -30°转动，调整观察眼点的高度和观察方向，使操作者的使用更加舒适。
管镜：
psm-1000的管镜转盘上装有1x nuv、1x nir和2x 管镜，三组管镜之间可以根据需要进行切换，切换简单、方便。其中1x nuv对355nm和532nm波长进行了优化，1x nir对532nm和1064nm波长进行了优化，当使用这3个波长的激光器时，可以得到更好的激光透过率。
光路切换连杆：
通过推拉光路转换拉杆可以方便的对光路进行切换。当转换拉杆往外拉时，双目头和摄像接口的分光比为0：100，此时从摄像接口上入射的激光的进入光路，提高了激光效率；当转换器拉杆往里推时，双目头和摄像接口的分光比为50：50，此时即可用双目头观察，同时也可以在摄像接口上使用ccd摄像头或激光器。
偏光观察:
主体上留有偏光插孔，插上偏光附件(选配件)，可进行偏光观察。
调焦机构：
调焦机构转动舒适，工作可靠。调焦机构大可承载45磅(20.4kg)，确保安装激光器和ccd摄像头后，仍然能够正常工作。
物镜转换器：
物镜（选配件）：
物镜采用长工作距离的无应力平场复消色差物镜，提供了优异的成像质量。
摄像系统：
根据所使用的ccd摄像机的ccd尺寸，选择合适的摄像接头，安装在摄像接口上，组成数码摄像系统，就可以在电脑、电视或监视器上同步观察。
lighting system 照明系统：