in-line sem（线上型电子显微镜）-仪器简介
设备编号：cf-l06
设备名称：线上电子显微镜（in-line sem）
放置位置：class 10
机台型号：hitachi s-6280h
机台功能
in-line sem主要用途为线上产品线宽量测，又称cd-sem，其特点为wafer无须经过切片或镀金属膜等预处理步骤，即可观察及量测光阻、绝缘层及金属层等之图案，本量测设备属于非坏性检测，量测完成之wafer可以继续进行下一制程步骤，因此称为线上型电子显微镜。
本机台仅能量测线宽，由于试片无法倾斜，因此无法观察试片断面，本机台主要规格如下：
1. 加速电压：0.7～1.3kv
2. 放射电流：3～20ma
3. 电子枪：冷阴极场发射电子源（ccfe）
4. 解析度：6 nm（gold）
5. 放大倍率：100x～150000x
6. 试片尺寸：6晶圆 （平边）
7. 影像旋转：-50°～95°
8. 真空度：≦1×10-7pa（电子源）
机台的限制（材料，参数范围等）
特殊注意事项：
1. 试片必须合于规定的尺寸及材质，试片底材：si，试片尺寸：6 inch,具有单一平边。
2. 试片须完整，不可有缺角或裂纹。
3. 因电子腔内为高度真空，故试片不得为挥发性物质、不得为在电子束扫描时具挥发性之物质。
4. 试片若含光阻，必须先做完硬烤（hard bake），才可将试片送入。
5. 试片不得含有磁性物质。
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