有关臭氧发生器臭氧的理化数据如下：
在标准状况下，密度 2.144g/l。由于接近地面的干燥空气，密度为1.293g/l，因 此臭氧密度是空气的1.658倍。
在 -195.4 0 c时，液态臭氧密度为1.164g/ml。
临界温度为 -12.1 0 c，临界压力为5.45×10 6 帕。
在冷水中的溶解度比氧气约大 10倍。
空气中含有 0.02ppm左右的臭氧。
一般情况下，空气中 1ppm臭氧可取2.14mg/m 3 ，水中1ppm臭氧为1mg/l。
长期呼吸 >0.1ppm臭氧，对人体有害。
臭氧浓度在 0.02ppm时，嗅觉敏锐者能感觉到，称“感觉临界点”；0.15ppm时，一般人能嗅出，称“嗅觉临界值”（亦为卫生标准点）；1-10ppm为“刺激范围”10ppm以上为“中毒范围”。