在超纯水设备使用15-30天就应该对砂滤器和炭滤器进行正反冲洗，将沙层和炭层表面的杂质冲出，以提高过滤效果。软化器的功用主要是以离子置换的原理降低水的硬度，因此随着使用时间的延长，阳树脂的软化能力也逐渐降低，需要用nacl进行再生。
精密过滤器是反渗透膜前的一个重要部件。通常我们会在精密过滤器的前后各装一个压力表，当压力差在0.7-1之间说明滤芯已经污堵了，就应该及时更换pp滤芯。
反渗透膜作为整套系统里一个非常重要的部件，更要更加细心的维护。在设计反渗透系统的时候，应该具备自动冲洗功能。在冲洗的时候，压力应该不高于3公斤，流速较快。以冲走膜片表面的污物。