agc溅射靶材的特点及运用示例分析
1.光学薄膜用靶材目的汽车和住宅用表面处理玻璃的低辐射涂层
显示膜和玻璃减反射涂层
触摸屏等光学调整膜（折射率匹配膜）
信息电子玻璃用光学多层膜（cd、dvd等的镜子）
材料产品名称目标形状目标薄膜（氧化膜用）
平板圆柱直流溅射特征耐碱性耐酸性耐刮擦其他的
硅基sc ○
○ 高速成膜（>结晶si）、高强度、高导热率 ○ ○ ○ n=1.46无定形　
热喷涂硅 ○ ○ ○ 稳定放电 ○ ○ ○ n=1.46无定形　
铌基n.b.o. ○ ○热喷涂 ○ 高密度、高速成膜（＞nb） ○ ○ ○ n=2.3 无定形
钛基txo ○ ○热喷涂 ○ 高速成膜（>ti） ○ ○ ○ n=2.45无定形
此处列出的质量数据仅供参考，并非保证值。关于下单时的质量保证，我们将另行协商决定。请注意，列出的质量数据如有更改，恕不另行通知。
特征sc由于其高强度、高导热性、均匀的结构靶材，实现了长期稳定放电。
与使用结晶si成膜的情况相比，成膜速度提高了20%。
通过氧化反应溅射获得非晶sio2膜。
通过氧化反应溅射获得的薄膜是无色且高度透明的。
n.b.o.成膜速度比金属铌成膜时快3倍以上。
通过氧化反应溅射获得非晶nb2o5膜。
通过氧化反应溅射获得的薄膜是无色且高度透明的。
txo成膜速度比金属ti快7倍以上。
通过氧化反应溅射获得非晶tio2膜。
通过氧化反应溅射获得的薄膜是无色且高度透明的。
2.高耐久性保护膜用靶材/中折射率薄膜用靶材目的汽车、住宅用表面处理玻璃（有色玻璃、热反射玻璃等）保护膜
显示薄膜（触摸屏等）的防反射涂层
适用于条码阅读器和复印机顶部玻璃的防刮保护膜
适用于所有需要耐碱、耐刮伤的薄膜的保护膜。
材料产品名称目标形状目标薄膜（氧化膜用）
平板圆柱直流溅射特征耐碱性耐酸性耐刮擦其他的
硅基sx ○
○ 高密度、低飞弧特性 ◎ ◎ ◎ n=1.7 无定形
英石 ○ △开发中 ○ 高密度、高速成膜（>sx） ○ ◎ ◎ n=1.7～2.0非晶态
此处列出的质量数据仅供参考，并非保证值。关于下单时的质量保证，我们将另行协商决定。请注意，列出的质量数据如有更改，恕不另行通知。
特征sx通过氧化反应溅射获得非晶膜，该非晶膜平坦且具有低摩擦特性。
通过氧化反应溅射获得的薄膜是无色且高度透明的。
通过氧化反应溅射获得的薄膜具有优异的耐刮擦性和耐化学性。
英石成膜速度比sx更快。
通过氧化反应溅射获得非晶膜，该非晶膜平坦且具有低摩擦特性。
通过氧化反应溅射获得的薄膜是无色且高度透明的。
通过氧化反应溅射获得的薄膜具有优异的耐刮擦性和耐化学性。
通过氧化反应溅射获得的薄膜具有液滴特性。
所得薄膜的折射率可在 1.7 至 2.0 之间变化，具体取决于目标组合物。
3.low-e介电薄膜靶材/中折射率薄膜靶材目的建材用low-e（低辐射）薄膜用介电薄膜
防反射膜等光学膜用中折射率膜
材质系统产品名称目标形状目标膜质量
平板圆柱dc成膜特征
锌基深圳 ○ ○ ○ 合金靶材ar膜沉积 n=2.0无定形
az ○ △开发中 ○ 合金靶材ar膜沉积 n=2.0无定形
此处列出的质量数据仅供参考，并非保证值。关于下单时的质量保证，我们将另行协商决定。请注意，列出的质量数据如有更改，恕不另行通知。
特征使用我们的制造方法，圆柱形 sz 靶材与背衬管实现了高粘合强度。因此，与传统的热喷涂靶相比，可以使用高功率溅射进行高速成膜。
可制造总长3m以上的长圆柱形靶材。
4、透明导电膜用靶材目的环境及能源玻璃（太阳能电池等）用透明电极
显示玻璃用透明电极
汽车和住宅玻璃用透明导电膜（热反射玻璃、电动汽车表面加热元件等）
纤维、薄膜等抗静电涂膜
材质系统产品名称目标形状目标膜质量
平板圆柱dc成膜特征电导率耐化学性其他特性
锌基广州市 ○
○ 高密度烧结体ar成膜 ○ × n=1.9低温结晶膜
偶氮 ○ △开发中 ○ 高密度烧结体ar成膜 ○ × n=1.9低温结晶膜
此处列出的质量数据仅供参考，并非保证值。关于下单时的质量保证，我们将另行协商决定。请注意，列出的质量数据如有更改，恕不另行通知。
特征相对密度90%以上的高密度zno靶材。
与ito相比，不易产生结节，可实现稳定的放电。
可在纯氩气气氛下成膜。
即使在室温下也可以形成结晶膜。