专业述语所说高纯水和我们平时所说的饮用纯净水是两种不同的水质，由于高纯水制作过程中使用了一些化学成份的东西，且处理完后水中除了水不含任何的物质。对人体是无益的。
高纯水的水质标准中所规定的各项指标的主要依据有：
1.微电子工艺对水质的要求；
2.制水工艺的水平；
3.检测技术的现状。
在高纯水的生产过程中，水中的阴、阳离子可用电渗析法、反渗透法及离子交换树脂技术等去除；水中的颗粒一般可用超滤、反渗透膜过滤等技术去除；水中的细菌，目前国内多采用加药或紫外灯照射或臭氧杀菌的方法去除；水中的toc则一般用活性炭、反渗透处理。在高纯水应用的领域中，水的纯度直接关系到器件的性能、可靠性、阈值电压，导致低击穿，产生缺陷，还影响材料的少子寿命，因此高纯水要求具有相当高的纯度和精度。
天然水中溶解的气体主要有o2、co2、so2和少量的ch4、氡气、氯气等，在高纯水的生产过程中，还必需去除这类的气体。为了有效的去除杂质，在生产高纯水的过程中，加入了一些化学杀菌剂，如甲醛、双氧水、次氯酸钠等。这些都是为什么高纯水不能作为饮用水的原因之一。
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