等离子体去除恶臭是通过两个途径实现的：一个是在电子的瞬间是量作用下，打开某些气体分子的化学键，使其直接分解成单质原子或分子；另一个是在大量电子、离子、激发态粒子和氧自由基、氢氧自由基(自由基因带有不成对电子而具有的活性)等作用下的氧化分解成产物。主要有下面几个过程：
1、在电子作用下，强氧化性自由基o、oh、oh2的产生；
2、物分子受到电子碰撞被激发，及原子键断裂形成小碎片基团和原子；
3、o、oh、ho2与激发原子、物分子、废气处理公司破碎的基团、其他自由基等发生一系列反应，物分子 终被氧化降解为co、co2、h2o。去除率的高低与电子能量和物分子结合键能的大小有关。
从除臭机理上分析，主要发生以下反应：
h2o+o2、o2-、o2+——so3+h2o
nh3+o2、o2-、o2+——nox+h2o
h2s去除率可达91.9%，nh3去除率可达93.4%，臭气浓度去除率可达93.6%。
从上述反应来看，恶臭组分经过处理后，转变为nox、so2、co2、h2o等小分子，在 的浓度下，各种反应的转化率均在95%以上，而且恶臭浓度较低，因此产物的浓度，均能被周边的大气所接受。