采用了四探针双电测组合(亦称双位组合)测量新,,将范德堡测量方法推广应用到直线四探针上,利用电流探针、电压探针的变换,在计算机控制下进行两次电测量,能自动消除样品几何尺寸、边界效应以及探针不等距和机械游移等因素对测量结果的影响。因而每次测量不,知道探针间距、样品尺寸及探针在样品表面上的位置。由于每次测量都是对几何因素的影响进行动态的自动修正,因此显著降低了几何因素影响,从而提高了测量结果的准确度。,这些,用目前大量使用的常规四探针测量方法所生产的仪器是无法实现的。
采用了四探针双位组合测量新,,将范德堡测量方法推广应用到直线四探针上,利用电流探针电压探针的变换,在计算机控制下进行两次电测量,把采集到的数据在计算机中加以分析,自动消除样品几何尺寸、边界效应以及探针不等距和 机械游移等因素对测量结果的影响,然后以表格图形方式统计分析显示测试结果;
,参数:
适用晶片尺寸:2~12(配套探针台);
测量范围 - 电阻率:10-5~105ω·cm(可扩展)
方块电阻:10-4~106ω/□(可扩展)
电导率:10-5~105s/cm;
电阻:10-5~105ω;
可测晶片厚度:≤3.00mm
恒流源:电流量程分为1μa、10μa、100μa、1ma、10ma、100ma六档,%档电流连续可调;
采用了四探针双电测组合(亦称双位组合)测量新,,将范德堡测量方法推广应用到直线四探针上,利用电流探针、电压探针的变换,在计算机控制下进行两次电测量,能自动消除样品几何尺寸、边界效应以及探针不等距和机械游移等因素对测量结果的影响。因而每次测量不,知道探针间距、样品尺寸及探针在样品表面上的位置。由于每次测量都是对几何因素的影响进行动态的自动修正,因此显著降低了几何因素影响,从而提高了测量结果的准确度。,这些,用目前大量使用的常规四探针测量方法所生产的仪器是无法实现的。
采用了四探针双位组合测量新,,将范德堡测量方法推广应用到直线四探针上,利用电流探针电压探针的变换,在计算机控制下进行两次电测量,把采集到的数据在计算机中加以分析,自动消除样品几何尺寸、边界效应以及探针不等距和 机械游移等因素对测量结果的影响,然后以表格图形方式统计分析显示测试结果;
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适用晶片尺寸:2~12(配套探针台);
测量范围 - 电阻率:10-5~105ω·cm(可扩展)
方块电阻:10-4~106ω/□(可扩展)
电导率:10-5~105s/cm;
电阻:10-5~105ω;
可测晶片厚度:≤3.00mm
恒流源:电流量程分为1μa、10μa、100μa、1ma、10ma、100ma六档,%档电流连续可调;