磁控离子溅射仪msp-1s的检测示例分析
au：金
观察区域：几千到10,000倍
au-pd：金钯
观察区域：10,000到50,000倍
适合低倍观察，对比度好。
pt：铂
观察面积：50000～100000倍
pt--pd：铂钯
观察面积：30000～50000倍
粒径细，常用于高倍观察。
相关产品特点
●磁控型溅射，采用较低外加电压减轻样品的离子损伤。
●真空度调节：适合磁控离子溅射的真空度是 6-8pa,msp-1s 通 过机械泵抽泣与泄露阀漏气的平衡，使样品仓自动保持在适合的真空度范围内，不需要手动做压力调整。
●浮动样品台设计：样品台是浮动型并与样机电机绝缘，可让电子 不通过样品而使温度上升很少。
●占地面积：台式设计，内置机械泵，只需要有 20cm×40cm 的占 地面积，重量只有 14.6kg。
关键词：离子溅射仪