山武特定用途传感器hpf/hpq系列
概述
山武传感器的特定用途传感器主要用于半导体及液晶制造工序检测使用的药液、纯水等的液面或漏液、晶元匹配用光纤单元或led等微小部品的落下检测用光纤单元等特定用途的光学式传感器系列。
主要用于检测半导体?液晶制造时的露光、洗净、热处理工序所使用的药液、纯水等的液面、漏液，采用独自的光学系实现了稳定检测、省空间，支持失效保护。 晶元匹配时使用的狭光光纤单元、led等微小部品的落下检测用光纤单元采用适合用途的光学设计及筐体设计，使高检测性能与省空间得到了统一，减少了调整工时，也提高了维护性。
产品系列
外观产品名/型号用途海外标准
管安装液面光纤
hpf-t032/hpf-t034 用于罐液面的上下限检测的2种检测方式、对应失效保护。 -
放大器内置管安装液面传感器
hpq-t series 只需安装在管上即可简单地检测液面。
罐插入光纤
hpf-d027/hpf-d033 全树脂构造物无金属污染。
放大器内置漏液传感器
hpq-dseries 放大器内置、不需吸纸，可对应多种液体。
（酸?碱系药液及ipa、纯水、氟化液、全氟聚醚的漏液检测）
* 详情请向本公司部门咨询
放大器内置漏液传感器
hpq-dp series 放大器内置、不需吸纸，可对应多种液体。
（纯水、工业水、氟化液、全氟聚醚的漏液检测）
漏液传感器
hpf-d040 pfa保护本体和缆线、省空间。采用光纤方式可在防爆环境使用。 -
小型部品通过检测用光纤
hpf-t047 根据管径匹配的适配器可提高了检测稳定性 -
晶元匹配用光纤
hpf-t030 能可靠地检测foup、开放式盒内的300mm晶元 -