安装于室内的六氟化硫电气设备，其安装室与主控室之间要作气密性隔离，以防有毒气体扩散进入主控室。六氟化硫设备安装场所要安装通风系统，抽风口应设在室内下部。设备安装室应定期进行六氟化硫和氧气含量的检测。空气中的含氧量应大于18％，空气中六氟化硫浓度不应超过1000μl/l。运行人员经常出入的户内设备场所每班至少换气15min，换气量应达3～5倍的场所空间体积；对工作人员不经常出入的设备场所，在进入前应先通风15min。
在设备室内安装场所的地面层应安装带报警装置的氧量仪和六氟化硫浓度仪。氧量仪在空气中氧气含量降至18％时应报警，六氟化硫浓度仪在空气中六氟化硫含量达到1000μl/l时应发出报警。定期监测设备内部的水分、分解气体含量，如发现起含量超过允许值，应采取有效措施，包括气体净化处理、更换吸附剂、更换六氟化硫气体、设备解体检修等。在气体采样操作及处理一般泄漏时，要在通风的条件下戴防毒面具工作。
当六氟化硫电气设备故障造成大量六氟化硫气体外逸时，工作人员应立即撤离现场。若发生在室内安装场所，应开启室内通风装置，事故发生后4h内，任何人进入室内必须穿、戴手套、护目镜和佩戴氧气呼吸器。在事故后清扫故障气室内固态分解产物时，工作人员也应采取同样的防护措施。清扫工作结束后，工作人员必须先洗净手、臂、脸部及颈部或洗澡后再穿衣服。被大量六氟化硫气体侵袭的工作人员，应*清洗全身并送医院诊治。
设备运行时六氟化硫气体的安全防护设备运行时六氟化硫气体的安全防护
按照dl/t639《六氟化硫电气设备运行、试验及检修人员安全防护导则》的要求执行。储存六氟化硫气瓶的场所须通风良好，应安装底部强制通风装置和六氟化硫泄漏报警装置。这些装置应定期校验。严禁用温度超过40度的热源对气瓶进行加热，瓶阀发生冻结时不得用火烤，可将气瓶移入室内或气温较高的地方，或用40℃以下的温水冲洗，再缓慢得打开瓶阀。气瓶的安全帽、防震圈应齐全。储存时气瓶应直立在地面或架子上，标志向外。搬运时应轻装、轻卸，严禁抛滑。使用过的六氟化硫气体钢瓶应关紧阀门，戴上瓶帽，防止剩余气体泄漏。