结合高温真空气氛炉的实验工艺要求进行的操作过程高温真空气氛炉的操作规程详解
1.打开高温真空气氛炉炉门取出隔热屏,放入处理物品于高温区内,再将隔热屏放好,关闭炉门锁紧,并关好所有阀门。
2.接通气氛管式炉电源,打开循环水。
3.高温真空气氛炉操作使用方法:
①开机械泵,开真空阀,抽真空至真空压力表达到-0.1mpa后关闭真空阀。
②开保护气体减压阀,开真空阀,对炉膛充气,使真空压力表回至“0”后,关闭真空阀。
③重复步骤①和②三次,使炉膛内的空气被排尽。
④关机械泵。对炉膛充气使真空压力表回至“0”后,打开放气阀,调节微调阀,使气体流量稳定,出气端水泡连续。
⑤对炉膛进行加温,应按“调节仪”进行,结合实验工艺要求操作。
⑥实验结束,炉子温度降至实验工艺要求范围后,先关闭放气阀,在关闭真空阀,关微调阀和气体减压阀。
⑦关闭总电源、循环水(一般炉温小于60℃,关闭循环水)。
高温真空气氛炉的注意事项:
1、清化jia(kcn)不可与酸类混置,因两者可产生剧毒之kcn气体。
2、除了做实验外,不要停留在高温炉管区。
3、一旦发现有妨碍安全之事物时,请立即通知有关人员(技术员等)。
4、请节约纯水用量。
5、实验工作完毕时,若无人继续使用,请关特殊气体,保留n2流动,炉管保持在standby温度,并查看是否有其它电源该关而没有关,如:cleanhood灯光、煮酸用的小电炉或其它,请随手关掉。
6、处理hf时,请戴手套,如不小心碰到hf时,请立刻冲水,用葡萄酸钙加2%之水,揉擦伤处15'。
7、长短推杆之前端,在还没使用到时,请朝上以免污染。
8、晶片进出炉口时,承接boat的holder,请勿碰触炉管口,以免污染炉管。
9、石英玻璃制品请小心使用,以免破裂,引起严重割伤。
10、避免吸入从炉子或处理槽所冒出之各种气体。
11、破晶片、滤纸、棉花棒等,请勿掉入清洗槽的底部排水孔,以免因排水不良造成地板渍水。