polycold 在镀膜机上的应用
1:在高真空系统中抽吸水汽,缩减抽真空时间多达75%。
2:提高您现有的真空系统的生产能力20%到99%。
3:改善镀膜的质量,提高薄膜的附着力和多层镀膜能力。
应用:
光学镀膜、卷绕镀膜等各种功能镀膜或装饰镀膜系统。可以在真空室内筹集水汽,也可以用于冷阱等冷却装置防止扩散泵返油。
使用过程中
1:在高真空状态下,真空室内残余气体的65%-95%以上都是水分子及水分子与其他气体分子的结合物,这些水汽分子是典型的有副作用的污染气体,以往常用的方法是离子清洗和高温烘烤,但是真空系统尤其是扩散泵对水蒸气抽速太低,而用昂贵的低温泵系统也仅仅吸附和掩埋掉真空室中的一部分水蒸气分子,高温烘烤也只是把水分子从基片表面迁移,使基片减少对水蒸气的吸附,而polycold@深冷泵是将90%以上的水分子吸附在低温盘管(cryocoil)的表面,并能吸附真空室内的一部分油分子,如果在真空系统水冷阱的上面放置polycold冷阱,不仅能抽吸水汽,还可以放置扩散泵返油。
2:polycold快速循环水汽深冷捕集泵能很快的捕捉真空系统中65%-95%的水蒸气分子,由于水蒸气分子的含量迅速降低,使镀膜机的抽气能力得到提高,一般抽真空时间可以减少25%-75%,极限真空可提高0.5个数量级。
3:polycold快速循环水汽深冷捕集泵其工作原理依然是麦斯纳吸收原理,使水汽分子在低温盘管(cryocoil)的超低温表面凝结,从而达到捕捉水汽的目的。低温盘管直接安装在真空腔室中,系统不再受接头、进气管、阀和挡板等的冷传导的影响,低温盘管的安装不需要高真空阀,可在任何系统中方便的进行。
关键词:镀膜机 低温泵 真空阀